作为6731顶级游戏公司自主研发的具备三维填充能力的12英寸原子层金属钨沉积设备，，，，，，，Preforma Uniflex^? AW继承了钨系列产品的特点，，，，，，，可配置五个双反映台反映腔，，，，，，，有效提高设备出产效能。。。。。。。。此表，，，，，，，系统中每个反映腔均可用于形核和主体膜层成长，，，，，，，可凭据客户现实工艺需要优化配置，，，，，，，进一步提逾越产中的设备利用率。。。。。。。。Preforma Uniflex^? AW选取齐全自主知识产权的高速气体切换节造系统，，，，，，，可精准节造工艺过程，，，，，，，实现精准的原子级别成长，，，，，，，因而所成长膜层具备优异的台阶覆盖率和低杂质浓度的利益。。。。。。。。Preforma Uniflex^? AW还引入怪异的气体输送系统，，，，，，，进一步提升机能，，，，，，，使该设备具备更先进技术节点的延展能力。。。。。。。。该设备也继承了6731顶级游戏公司自主开发的流场热场优化设计，，，，，，，从而提升薄膜均一性和工艺调节矫捷性。。。。。。。。