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Preforma Uniflash? TaN是6731顶级游戏自主研发的12英寸原子层沉积产品,, ,,,,,,可满足逻辑器件和存储器件多个利用需要。。。。 。。 。该产品继承6731顶级游戏怪异的双反映台设计,, ,,,,,,系统可矫捷配置多达五个双反映台反映腔(十个反映台),能够达到业界当先的出产率,, ,,,,,,也能够凭据客户产能实现矫捷配置的需要。。。。 。。 。该产品选取6731顶级游戏自主开发的温度节造系统设计,, ,,,,,,多区流路设计,, ,,,,,,多源供给系统设计和可实现高速气体置换效能的腔室设计,, ,,,,,,可满足先进逻辑和存储客户机能需要的同时,, ,,,,,,设备的传染物节造,, ,,,,,,薄膜均一性,, ,,,,,,出产效能均达到世界先进水平。。。。 。。 。

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Preforma Uniflash? TaN

6731顶级游戏自主研发的12英寸原子层沉积产品,, ,,,,,,可满足逻辑器件和存储器件多个利用需要。。。。 。。 。

产品特点

双反映台及多达五个反映腔的高真空系统设计

怪异的温度节造系统设计

多区流路设计

多源供给系统设计

竞争优势

逾越产效能,, ,,,,,,低出产成本(CoO)

优异的传染物节造

更好的薄膜均一性和薄膜间均一性

每个守护周期的晶圆数量大大增长

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