





6731顶级游戏拥有自主知识产权的MOCVD设备PRISMO HiT3?,,,,,,是合用于高质量氮化铝和高铝组分资料成长的关键设备,,,,,,反映腔最高温度可大达1400摄氏度,,,,,,单炉可成长18片2英寸表延片,,,,,,并可延长到4英寸晶片。。。。。。。。 6731顶级游戏高温MOCVD设备PRISMO HiT3专为深紫表LED量产而设计,,,,,,是目前业内紫表LED产能先进的高温MOCVD设备。。。。。。。。

用于深紫表LED表延片量产的MOCVD设备
合用于高温氮化铝和深紫表 LED成长的关键设备
优异均匀性和高效力相结合
适合高晶体质量和高AIN成长速度的新鲜腔体设计
创新的实时监控系统
工艺温度最高可达1400度,,,,,,拥有优异的温场均匀性和节造不变性
拥有高不变性、自动化的真空传送系统,,,,,,抑造颗粒的产生
界面敦睦、全自动化的操作系统
优异的工艺沉复性,,,,,,简化工艺调整需要,,,,,,提高产品良率
单炉可成长18片2英寸表延晶片,,,,,,拥有较低的出产成本
集成顶盖起落机构,,,,,,简化设备守护,,,,,,提高设备利用率
业界当先的UVC LED产能及守护周期


